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Investigation Of GaAs MIS Deposited By PECVD Method


 
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1. Titre Titre du document Investigation Of GaAs MIS Deposited By PECVD Method
 
2. Créateur Nom de l'auteur, affiliation, pays Hamza JAOUDARI; Laboratory of Engineering and Materials (LIMAT), Faculty of Sciences Ben M'sick, Hassan II University of Casablanca, Morocco; MAROC
 
2. Créateur Nom de l'auteur, affiliation, pays Wafaa ZIBAR; Laboratory of Engineering and Materials (LIMAT), Faculty of Sciences Ben M'sick, Hassan II University of Casablanca, Morocco; MAROC
 
2. Créateur Nom de l'auteur, affiliation, pays Dounia FATIHI; Laboratory of Engineering and Materials (LIMAT), Faculty of Sciences Ben M'sick, Hassan II University of Casablanca, Morocco; MAROC
 
2. Créateur Nom de l'auteur, affiliation, pays Bouchra IFEGOUS; Laboratory of Engineering and Materials (LIMAT), Faculty of Sciences Ben M'sick, Hassan II University of Casablanca, Morocco; MAROC
 
2. Créateur Nom de l'auteur, affiliation, pays Rhma ADHIRI; Laboratory of Engineering and Materials (LIMAT), Faculty of Sciences Ben M'sick, Hassan II University of Casablanca, Morocco; MAROC
 
3. Sujet Discipline(s)
 
3. Sujet Mot(s)-clé(s) MIS ; Gallium arsenide; silicon nitride; capacitance–voltage; interface state ; PECVD; Terman method.
 
4. Description Résumé

Plasma-enhanced chemical vapor deposition of silicon nitride Si3N4 is commonly used to passivate surface states and to encapsulate III-V devices and circuits; this method has been used for Metal-oxide-semiconductor (MIS) capacitors in the GaAs semiconductor to improve the device. In this work, measurements are performed to obtain capacitance voltage (C–V) and conductance (G–V), measurements have been carried out in the frequency range of 10 kHz–1MHz and bias voltage range of (−6V) to (14V) at room temperature. Using the Terman method, the interface trap density is extracted from C–V curves. The Dit is responsible for the non-ideal behavior of C-Vg and G-Vg leading to the breakdown of such device.

 
5. Éditeur Agence organisatrice, lieu
 
6. Contributeur Commanditaire(s) université Hassan II de Casablanca
 
7. Date (AAAA-MM-JJ) 20-02-2023
 
8. Type Statut & genre Article évalué par les pairs
 
8. Type Type
 
9. Format Format de fichier PDF
 
10. Identifiant URI https://revues.imist.ma/index.php/REINNOVA/article/view/38204
 
10. Identifiant Digital Object Identifier (DOI) https://doi.org/10.34874/IMIST.PRSM/reinnova-v5i18.38204
 
11. Source Titre de revue/conférence; vol., no. (année) REVUE DE L’ENTREPRENEURIAT ET DE L’INNOVATION; Vol. 5, No 18 (2023)
 
12. Langue Français=fr fr
 
13. Relation Fichiers supp.
 
14. Couverture Localisation géo-spatiale, période chronologique, échantillon de recherche (sexe, âge, etc.)
 
15. Droits Droit d'auteur et autorisations Tous droits réservés (c) 2023 REVUE DE L’ENTREPRENEURIAT ET DE L’INNOVATION